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CQC 检测系统

CQC 检测系统

CQC 检测系统面向半导体 Fab 厂的载气与电子特气纯度控制,提供 ppt/ppb 级的痕量杂质在线检测能力。

系统整合采样、分析与中控软件,联动工厂系统实现数据归集与异常预警,保障晶圆制造工艺的气体纯度稳定。

检测能力
ppt / ppb 级
部署
半导体 Fab 厂
集成
采样 + 分析 + 中控
联动
工厂系统集成